由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜，在---环境下调变补偿调节机构，
使反射光束进入自准直仪接收视场，记录两维角度偏差。真空镀膜加工
按有限元计算的真空状态下的补偿量再次调整，显然，此时的反射光束已远离自准直仪接收视场，但一旦真空室进入真空状态，
反射光束又重新进入自准直仪的接收视场，记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。
真空镀膜操作规程
1.在真空镀膜机运转正常情况下，真空镀膜加工，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。
2.在离子轰击和蒸发时，应---注意高压电线接头，不得触动，以防触电......1.在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。
2.在离子轰击和蒸发时，真空镀膜加工厂商，应---注意高压电线接头，不得触动，以防触电。
3.在用电子枪镀膜时，应在钟罩---上铝板。观察窗的玻璃铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防x射线---人体。
4.镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，塑胶真空镀膜加工，及时排除有害粉尘。
5.有毒物品要妥善保管，以防。
6.酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。
7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。
8.工作完毕应断电、断水。
2.2.2偏压溅射biassputtering：在溅射过程中，将偏压施加于基片以及膜层的溅射。
2.2.3直流二级溅射directcurrenodesputtering：通过二个电极间的直流电压，使气体自持放电并把靶作为阴极的溅射。
2.2.4非对称流溅射asymmtricalternatecurrentsputtering：通过二个电极间的非对称流电压，使气体自持放电并把靶作为吸收较大正离子流的电极。
2.2.5高频二极溅射highfrequencydiodesputtering：通过二个电极间的高频电压获得高频放电而使靶极获得负电位的溅射。
2.2.6热阴极直流溅射（三极型溅射）hotcathodedirectcurrentsputtering：借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电所产生的离子，由在阳极和阴极（靶）之间所施加的电压加速而轰击靶的溅射。
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