真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表---有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的---性能,达到提高产品、延长产品寿命、节约能源和获得---技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出---的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在---各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、、---等领域。
真空镀膜主要利用辉光放电(glowdischarge)将气(ar)离子撞击靶材du(target)表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的气离子化,造成靶与气离子间的撞击机率增加,提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀,而不导电的陶磁材料则使用rf交流溅镀,基本的原理是在真空中利用辉光放电(glowdischarge)将气(ar)离子撞击靶材(target)表面,真空镀膜,电浆中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。
真空镀膜的功能是多方面的,这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说,真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果,在薄膜材料上使膜层具有---的阻隔性能,提供优异的电磁屏蔽和导电效果。
真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术,真空镀膜厂家,通常称为干式镀膜技术。
众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、---的物理和化学性能。
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